投影透镜

概述

投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜,用于对准的激光束照在晶圆上,其反射束经过曝光系统的透镜,汇聚在掩模上成像。

2百科释义

投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜,用于对准的激光束照在晶圆上,其反射束经过曝光系统的透镜,汇聚在掩模上成像。

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本词条最后更新于 2026-06-29 16:15:27