当真空室内的真空度为13Pa时,在阴阳两电极之间加上一定的电压,气体就会发生自激放电,从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳极或真空室的壁上。这种溅射就称为阴极溅射。
本词条最后更新于 2026-06-30 00:54:25