离子鞘

概述

等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法，负偏压和气体压强的大小影响了离子鞘的厚度。

2百科释义

等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法，负偏压和气体压强的大小影响了离子鞘的厚度。

9词语组词

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本词条最后更新于 2026-06-30 02:18:11

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