物理气象淀积

概述

物理气象淀积(PVD)指的是利用某种物理过程,例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移,即原子或分子由源转移到衬底(硅)表面上,并淀积成薄膜。

2百科释义

物理气象淀积(PVD)指的是利用某种物理过程,例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移,即原子或分子由源转移到衬底(硅)表面上,并淀积成薄膜。

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本词条最后更新于 2026-06-30 11:55:10