扩散泵

概述

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。

2百科释义

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。

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本词条最后更新于 2026-06-29 21:31:07