坚膜

概述

坚膜是一个热处理过程,即在一定的温度下,对显影后的晶圆片进行烘焙。

2百科释义

坚膜是一个热处理过程,即在一定的温度下,对显影后的晶圆片进行烘焙。

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本词条最后更新于 2026-06-30 18:54:43