粗抽泵

概述

从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗抽泵。

2百科释义

从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗抽泵。

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本词条最后更新于 2026-06-30 02:47:10