热探针法

热探针法可以用作硅片N型或者P型的检测。探针工作的基本原理如图1所示。两个探针与编码形成欧姆接触，如热探针比冷探针高25-100℃。电压表跨接在两个探针之间测量电势差，极性的指示可判断材料是N或者P型。