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概述

新的SCIL(基板完整压印微影)技术是用于亚50奈米图形制造的技术,它运用于小尺寸高解析度硬质印模和解析度低于200nm的大面积软质印模之间的优势互补。

2百科释义

新的SCIL(基板完整压印微影)技术是用于亚50奈米图形制造的技术,它运用于小尺寸高解析度硬质印模和解析度低于200nm的大面积软质印模之间的优势互补。

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本词条最后更新于 2026-06-30 00:54:49